SENSIRION液體流量計SLQ-QT105資料
點擊次數：699 發(fā)布時間：2019/6/28
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上海維特銳實業(yè)發(fā)展有限公司 |
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SENSIRION液體流量計SLQ-QT105針對半導體應用
SENSIRION液體流量計SLQ-QT105系列針對要求苛刻的涂料系統(tǒng)的定做，是高達120 ml/min流量的烴基液體的半導 體級-傳感器解決方案。 該傳感器基于Sensirion成熟的熱式傳感器技術，開辟了靈敏度、可靠性和速度方面的新前景。SLQ-QT105的快速 響應時間有助于高度動態(tài)過程的準確監(jiān)測，如快速分配操作。該傳感器配備4x3mm PFA管件，無運動部件，通過一 個筆直的流道壁進行非侵入性測量。所提供的智能數字接口(如RS485)可實現具有總線能力的遠距離通訊。 對于120 ml/min流量的水基液體或高粘度液體，請參閱我們的液體流量計SLQ-QT500。 SENSIRION液體流量計SLQ-QT105性能參數
烴基液體的大流量：120 ml/min
適用于光致抗蝕劑和溶劑
低至低流量的高靈敏度
快速響應時間低至30 ms
RS485、USB或0-10 V模擬電壓輸出
的耐化學性
惰性觸液材質：PCTFE、PFA和石英玻璃材料
保證純度
筆直流道，無運動部件
大工作壓力：3 bar（可按要求提供高壓強等級） 應用
半導體過程控制
光刻膠分配
快速給藥操作
SLQ-QT500，SLQ-QT500等型號優(yōu)勢供應，貨期短，價格好，詳情請到站內咨詢周工 |
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