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Brooks Instrument質(zhì)量流量計5700系列參數(shù)

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Brooks Instrument質(zhì)量流量計5700系列參數(shù)


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應(yīng)用

化學(xué)品與石化分析和試驗過程

實驗室和分析系統(tǒng)

生命科學(xué)實驗室

薄膜氣相沉積

熱處理、切割等其他熱過程

真空應(yīng)用


參數(shù)

流體類型  氣體

流量范圍  滿量程容量3 sccm - 2500 lpm

精度  ± 0.6% of SP

最大壓力  4500 psig

溫度  65℃


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